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多項選擇題

集成電路電阻可以通過（）產(chǎn)生。

A.金屬膜
B.摻雜的多晶硅
C.通過雜質(zhì)擴(kuò)散到襯底的特定區(qū)域中

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多項選擇題

半導(dǎo)體工藝技術(shù)中，器件互連材料通常包括（）等。

A.金屬
B.合金
C.多晶硅
D.金屬硅化物

多項選擇題

硅半導(dǎo)體工藝中的絕緣材料主要來源于硅自身產(chǎn)生的（）材料等。

A.SiO₂
B.SiON
C.Si₃N₄

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