（）又稱“島式加工單元”。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

下列各種設備型號中，屬于焊接變位機的是（）。

套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

當機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎上沿Y 軸旋轉30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

RF 電源適用的設備是（）。