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問答題

【簡答題】簡述外延的概念和作用？什么是同質(zhì)外延？什么是異質(zhì)外延？

答案：

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【簡答題】CVD分類及應(yīng)用？分哪幾類？分別用于制備哪些東西？

答案：

【簡答題】簡述化學(xué)氣相淀積的原理？

答案： ①氣態(tài)反應(yīng)劑被輸送至反應(yīng)腔，以平流形式向出口流動。
②反應(yīng)劑從主氣流區(qū)以擴(kuò)散方式通過邊界層到達(dá)硅片表面。