RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

定期應(yīng)該對變頻器進行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

UTM300B 泵的特點是什么（）？

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

工業(yè)以太網(wǎng)交換機與商用以太網(wǎng)交換機的區(qū)別不包括：（）。

離子濺射泵的特點是什么（）？

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。