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【簡答題】列舉離子注人優(yōu)于擴(kuò)散的7點(diǎn)。
答案:
1.精確控制雜質(zhì)含量。
2.很好的雜質(zhì)均勻性。
3.對(duì)雜質(zhì)穿透深度有很好的控制。
4.產(chǎn)生...
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【簡答題】離子注入通常在什么工藝之后?
答案:
光刻。
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【簡答題】列舉用于硅片制造的5種常用摻雜。
答案:
離子注入,熱擴(kuò)散,硅漿料,絲網(wǎng)印刷,激光
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