廢氣CEMS比對監(jiān)測時，氣態(tài)污染物參比方法采樣位置與CEMS測定位置靠近但不干擾CEMS正常取樣，也可以從CEMS排氣裝置處直接采樣監(jiān)測。

《固定污染源廢氣 氟化氫的測定 離子色譜法（暫行）》（HJ688-2013） 規(guī)定，等速采樣采集的樣品包括吸收瓶和過濾器收集的顆粒物。

自動監(jiān)測設備比對監(jiān)測時，參比方法使用的煙氣分析儀必須每次現場使用標準氣體檢查準確度，并記錄現場校驗值，若儀器校正示值偏差不高于±10%，則為合格。

根據《固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法》（GB/T 16157-1996），S型皮托管校正系數取決于制造精度，一般在0.82到0.85之間。

《工業(yè)爐窯大氣污染物排放標準》（GB9078-1996）規(guī)定，若工業(yè)爐窯露天設置（或有頂無圍墻），無組織排放監(jiān)測點應選在距煙（粉）塵排放源10m，最低高度1.5m任意處，并選濃度最大值。

廢氣CEMS比對監(jiān)測， 除二氧化硫、氮氧化物外，其它污染物參考方法測定值與CEMS測定值相對準確度不超過15%時，該煙氣CEMS判定為合格。

根據《固定污染源排放煙氣黑度的測定 林格曼煙氣黑度圖法》（HJ/T398-2007），觀察煙氣的部位應選擇選在黑度最大的地方，該部位可以有冷凝水蒸氣存在。

根據《固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法》（GB/T 16157-1996），在矩形煙道內采集煙塵，若管道斷面積2，且流速比較均勻對稱時，可取斷面中心作采樣點。

根據《大氣污染物無組織排放監(jiān)測技術導則》（HJ/T55－2000），對無組織排放實行監(jiān)測時，采集小時均值樣品，要求每小時至少有45分鐘的采樣時間。

《環(huán)境空氣 半揮發(fā)性有機物采樣技術導則》（HJ 691-2014），對于部分沸點較高的主要以顆粒物狀態(tài)存在的SVOCs，可以只使用濾膜進行采樣。