離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

（）又稱“島式加工單元”。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。