對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

弧焊機(jī)器人的焊接設(shè)備主要是由（）組成。

伺服工作時(shí)，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

磁性開(kāi)關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開(kāi)關(guān)，磁性開(kāi)關(guān)用來(lái)檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。