A.將被測件支撐在精確平板上,通過指示器(如百分表)進行比較測量,得出直線度誤差值 B.將平晶直接放在被測表面上,通過觀察干涉帶,進行計算出測量直線度誤差值 C.用刀口尺與實際形狀相接觸,通過目估、塞尺檢驗或與標準光隙比較而得到測量直線度誤差值 D.以測微準值望遠鏡或自準值儀所發(fā)出的光線為測量基線,測出測量直線度誤差值
A.光學平晶等厚干涉法 B.測微法 C.激光準值儀法 D.光隙法
與理想要素比較原則、測量坐標值原則、測量特征參數(shù)原則、測量跳動原則以及控制實效邊界原則。