對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動。

工業(yè)機(jī)器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

弧焊機(jī)器人的焊接設(shè)備主要是由（）組成。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。