A.侵入的自由微粒B.屏蔽罩或電極表面損傷C.導電回路接觸不良D.絕緣件制造或安裝工藝不良
A.電極安裝不良、錯位等B.絕緣件制造缺陷C.電極表面的損傷D.運輸中的損壞
A.達到設備凈化的目的B.減少凈化過程中微粒觸發(fā)的擊穿C.減少對被試設備的損壞D.延長設備承受高電壓的時間