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答案：

在離子注入中，注入離子與靶原子核碰撞，將能量傳給靶核，離子發(fā)生偏轉(zhuǎn)，靶核產(chǎn)生位移。

答案：住擴(kuò)散是將預(yù)擴(kuò)散引入的雜質(zhì)作為擴(kuò)散源，在較高的溫度下進(jìn)行擴(kuò)散，擴(kuò)散的同時(shí)也往往進(jìn)行氧化。目的是為了控制表面濃度和擴(kuò)散深度...