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答案：快速加熱工藝。是一種升溫速度非常快的，保溫時間很短的熱處理方式。

答案：如果擴(kuò)散雜質(zhì)與硅襯底原有雜質(zhì)的導(dǎo)電類型不同，在兩種雜質(zhì)濃度的相等處會形成PN結(jié)，此深度為結(jié)深。