由光源系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、測量系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。
有火焰光源;常壓氣體放電光源;低壓氣體輝光放電光源;等離子體光源;激光光源和亞穩(wěn)態(tài)能量轉(zhuǎn)移光源。