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名詞解釋SPWM技術：

是指脈沖的寬度按正弦規(guī)律變化而和正弦波等效的PWM波形。

1.名詞解釋PWM技術：

控制技術就是對脈沖的寬度進行調制的技術，即通過對一系列脈沖的寬度進行調制，來等效的獲得所需要的波形（含形狀和幅值）。

2.名詞解釋全閉環(huán)控制系統(tǒng)：

直接檢測工作臺的位移來控制系統(tǒng)。

3.名詞解釋線性度：

所謂傳感器的線性度是其輸出量與輸入量之間的實際關系曲線偏離直線的程度。

4.名詞解釋傳感器：

5.名詞解釋靈敏度：

靈敏度指示器的相對于被測量變化的位移率，靈敏度是衡量物理儀器的一個標志。