當機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

下列各項，不屬于工業(yè)中常用的機器視覺系統(tǒng)上位機的是（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運動。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。