填空題

CZ直拉法生長單晶硅是把（）變?yōu)椋ǎ┎⑶遥ǎ┑墓腆w硅錠。

答案：融化了的半導(dǎo)體級硅液體；有正確晶向的；被摻雜成p型或n型

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從半導(dǎo)體制造來講，晶圓中用的最廣的晶體平面的密勒符號是（）、（）和（）。

答案： 100；110；111

晶圓制備的九個工藝步驟分別是（）、整型、（）、磨片倒角、刻蝕、（）、清洗、檢查和包裝。

答案：單晶生長；切片；拋光