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填空題柔性制造系統(tǒng)的組成包括：（），（），信息控制系統(tǒng)和一套計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。

1.填空題工業(yè)機(jī)器人一般由機(jī)械系統(tǒng)，（），（）和（）等幾個(gè)部分組成。

2.填空題微細(xì)加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術(shù)，面刻蝕加工技術(shù)，LIGA技術(shù)，（）和（）。

3.填空題優(yōu)化設(shè)計(jì)的三要素是：（），（），（）。

4.填空題快速原型制造技術(shù)的熔絲沉積成形法通常采用的原材料是（）。

5.填空題優(yōu)化設(shè)計(jì)的兩個(gè)前提條件（），以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)。