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填空題大規(guī)模集成電路的微細(xì)制作方法有（），（），（），（），（）。

參考答案： 外延生長(zhǎng)；氧化；光刻；選擇擴(kuò)散；真空鍍膜

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1.填空題虛擬制造技術(shù)是以（）、（）、（）為支持，在產(chǎn)品設(shè)計(jì)或制造系統(tǒng)的物理實(shí)現(xiàn)之前，就能使人體會(huì)或感受到未來產(chǎn)品的性能或者制造系統(tǒng)的狀態(tài)，從而可以作出前瞻性的決策與優(yōu)化實(shí)施方案。

參考答案：信息技術(shù)；仿真技術(shù)；虛擬現(xiàn)實(shí)技術(shù)

2.填空題快速原型制造常用的工藝方法（），（），（），（）。

參考答案：光固化成形；疊層實(shí)體制造；選擇性激光燒結(jié)；熔融沉積制造

3.填空題超高速機(jī)床主軸的結(jié)構(gòu)常采用交流伺服電動(dòng)機(jī)內(nèi)置式集成結(jié)構(gòu)，這種主軸通常被稱為（）。

參考答案：空氣軸承主軸

4.填空題綠色制造技術(shù)是指在保證產(chǎn)品的功能、（）、成本的前提下，綜合考慮環(huán)境影響和（）的現(xiàn)代制造模式。

參考答案：質(zhì)量；資源效率

5.填空題微細(xì)加工中的三束加工是指（），（），（）。

參考答案：電子束；離子束；激光束