A.離子源+收集器 B.真空室 C.分析器 D.A+C
A.熔于材料的氫、氧、氮、和碳的氧化物和材料本身引起的氣體滲漏 B.材料表面的污染和材料表面吸附的氣體 C.A+B D.以上都不正確
A.影響真空室的極限壓力和工作壓力 B.在真空系統(tǒng)停止抽氣后,造成真空室壓力升高;有些放氣會(huì)污染監(jiān)測(cè)系統(tǒng) C.影響真空泵的性能和壽命 D.以上都是