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問答題
【簡答題】簡述什么是硅化物及其作用。
答案：
硅化物是在高溫下難熔金屬（通常是鈦Ti、鈷Co）與硅反應(yīng)形成的金屬化合物（如TiSi2、CoSi<...
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問答題
【簡答題】簡述銅互連的優(yōu)點(diǎn)及采取的工藝措施。
答案：
優(yōu)點(diǎn)：①電阻率更低；②電流密度高：抗電遷徙能力好于鋁，銅合金中加入Al或Ti進(jìn)一步增強(qiáng)抗電遷移；③更少的工藝步驟：采用大...
問答題
【簡答題】簡述電遷移現(xiàn)象及解決方法。
答案：
當(dāng)金屬線流過大密度的電流時(shí)，電子和金屬原子的碰撞引起金屬原子的移動(dòng)導(dǎo)致金屬原子的消耗和堆積。電遷移現(xiàn)象會(huì)造成金屬線開路、...
